Печь быстрого отжига RTP - фото 1 - id-p113322827

Характеристики и описание

Описание:

Размер трубы печи быстрого отжига RTP составляет 120 мм, что позволяет размещать непосредственно 4 дюйма материала. Зона реакции образца находится в закрытой кварцевой камере, что значительно снижает возможность косвенного загрязнения образца при завершении производственного процесса. Устройство оснащено ЖК-дисплеем высокой четкости с сенсорным экраном, а операция эксперимента с данными настройки представляет собой графический интерфейс. Он удобен и быстр в эксплуатации, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента. В оборудовании предусмотрен быстрый интерфейс для вакуума и газов воздуха, и вакуумная система может использоваться вместе с системой смешивания газов.

Печное оборудование для быстрого отжига может использоваться для быстрого термического отжига, быстрого термического окисления, быстрого термического азотирования, силицирования, диффузии, отжига сложных полупроводников, отжига после ионной имплантации, легирования электродов, кристаллизации и уплотнения, анализа температуры плавления сплава, осаждения тонких пленок, и тому подобное.

Характеристики:

Модель	CY-O1000-120I-T-RTP
Материал трубы печи	Кварц высокой чистоты
Диаметр трубы печи	120 мм
Длина трубы печи	500 мм
Длина топочной камеры	440 мм
Длина зоны нагрева	400 мм
Зона постоянной температуры	200 мм
Рабочая Температура	0～500℃
Степень нагрева	Рекомендуется 80 ℃ / с, высокая скорость нагрева 200 ℃ / с
Скорость охлаждения	Более 200 ℃ ≤25 мин.
Точность контроля температуры	±1℃
Режим контроля температуры	30- или 50-сегментный программный контроль температуры
Режим отображения	Сенсорный ЖК-экран
Метод герметизации	Вакуумный фланец из нержавеющей стали 304
Фланцевый интерфейс	Соединитель с наконечником 1/4 дюйма (соединитель в форме пагоды Ø8)
Вакуум	4.4E-3Па
Источник питания	AC: 220 В 50/60 Гц